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Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium

Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium - hermès / lavoisier - 9782746225626 -
Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium 

Auteur : 

Editeur : HERMES / LAVOISIER

Collection : Traité EGEM Série Electronique et microélectronique

Date parution :

Ce livre est dédié à l'intégration des matériaux diélectriques ferroélectriques dans la technologie silicium. Il s'agit principalement de matériaux issus de la famille des matériaux pérovskites qui présentent des propriétés électriques remarquables : permittivité diélectrique très élevée, effet mémoire (ferroélectricité), piézoélectricité, électrostriction. Bien que ces matériaux soient bien maîtrisés à l'état de céramique, les couches minces et notamment celles sur le silicium, le sont beaucoup moins.
Ces dix dernières années ont vu une progression technologique sans précédent quant à l'intégration de ces matériaux diélectriques sur le silicium et notamment pour les microsystèmes.
Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium est ainsi dédié à la description de ces matériaux à travers un traitement thermodynamique particulièrement développé pour le cas des couches minces, les technologies mises en jeu pour arriver à les synthétiser, les caractérisations spécifiques utilisées et finalement, la description de plusieurs réalisations technologies abouties.


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Reliure : Relié
Nbr de pages : 454
Dimension : 16 x 24 cm
ISBN 10 : 274622562x
ISBN 13 : 9782746225626
150,00 €
Sur commande , expédition à 0.01€ sous 4 à 8 jours (en savoir plus)

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Préface. Chapitre 1. L'approche thermodynamique. Chapitre 2. Effet des contraintes sur les couches minces. Chapitre 3. Technologies de dépôts et mise en forme. Chapitre 4. Analyse par diffraction des rayons X de films minces polycristallins. Chapitre 5. Caractérisation physico-chimique et électrique. Chapitre 6. Caractérisation radio-fréquence. Chapitre 7. Courants de fuite dans les condensateurs PZT. Chapitre 8. Capacités intégrées. Chapitre 9. Fiabilité des condensateurs PZT. Chapitre 10. Capacités variables ferroélectriques. Chapitre 11. Mémoires ferroélectriques FRAM : principe, limitations, innovations et applications. Index.
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